KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特點(diǎn)

無油干式運(yùn)行：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染，特別適用于對潔凈度要求場合，如半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造等。

抽氣能力強(qiáng)：最大抽速可達(dá) 20,000L/min，能快速有效地抽取氣體，可滿足不同應(yīng)用場景對真空度的需求。

極限真空度高：極限壓力可達(dá)到 0.1Pa 甚至更低，能夠提供高真空環(huán)境，滿足如半導(dǎo)體工藝中一些對真空度要求嚴(yán)苛的工藝步驟。

氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾?，氮?dú)饬髁靠稍谝欢ǚ秶鷥?nèi)調(diào)節(jié)，通常能在 0 至 60SLM 范圍內(nèi)，增強(qiáng)了工藝的靈活性，可用于一些需要對腔體進(jìn)行吹掃或保護(hù)的工藝。

高效節(jié)能：通過優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)和采用新型加熱器系統(tǒng)等措施，實(shí)現(xiàn)了低功耗化，功率一般為 1.05kW 左右，相比一些傳統(tǒng)真空泵能耗更低。

小型化設(shè)計(jì)：外形尺寸較為緊湊，例如 MUP1200E 的尺寸約為 820×380×655mm，機(jī)身小巧，節(jié)省安裝空間，便于集成到各種設(shè)備或系統(tǒng)中。

冷卻水需求低：冷卻水流量僅需約 2L/min，對冷卻系統(tǒng)的要求不高，可降低運(yùn)行成本和設(shè)備復(fù)雜度。

安全可靠：符合工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，配備高安全性防護(hù)設(shè)計(jì)，如過載保護(hù)、過熱保護(hù)等裝置，能在各種工況下穩(wěn)定運(yùn)行，減少故障和意外發(fā)生的可能性。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景，能與其他型號(hào)的樫山真空泵或相關(guān)設(shè)備搭配使用，以滿足不同規(guī)模和復(fù)雜程度的真空系統(tǒng)需求。

應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：適用于化工、電子 / 電池、半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室等眾多領(lǐng)域，可用于晶圓加工、蝕刻、鍍膜等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制，以及高純度實(shí)驗(yàn)環(huán)境及腐蝕性氣體處理。